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在高端制造領(lǐng)域，工件表面在進(jìn)行粘接、電鍍、鍍膜等工藝處理時，由于表面存在有機(jī)污染物、氧化物及殘留物等，導(dǎo)致出現(xiàn)粘接不牢固、鍍層及薄膜易脫落的問題，嚴(yán)重影響產(chǎn)品性能和使用壽命，因此工件在進(jìn)行表面處理前必須要進(jìn)行清洗。相對于傳統(tǒng)的酸和有機(jī)溶劑等濕法清洗來說，等離子體清洗是一種新型的干法清洗技術(shù)，由空氣、氮氣或氬氣等氣體電離產(chǎn)生等離子體，富含帶電離子和活性基團(tuán)，能有效去除工件表面的污染物，提高材料表面活性，具有清潔、環(huán)保、高效和可靠等優(yōu)點，具有非常廣闊的市場前景，2021年中國的清洗機(jī)市場已達(dá)到205億元，2026年預(yù)計將增加到350億元。但是，目前國產(chǎn)等離子體清洗機(jī)存在設(shè)備壽命短（僅在半年之內(nèi)）和等離子體處理尺寸小（處理寬幅小于8厘米）的問題。而大尺寸長壽命等離子體清洗機(jī)高端產(chǎn)品完全由德國和韓國壟斷，且對國內(nèi)禁運，是真正的“卡脖子”技術(shù)。團(tuán)隊成員均為中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)的博士，是國內(nèi)唯一從事等離子清洗機(jī)專業(yè)研發(fā)的企業(yè)團(tuán)隊，已主持多項國家重點研發(fā)項目、國家自然科學(xué)基金項目，發(fā)表文章一百多篇，授權(quán)8項發(fā)明專利。團(tuán)隊負(fù)責(zé)人彭姣為德國頂尖研究機(jī)構(gòu)亥姆赫茲聯(lián)合會的歸國博士后，合肥市高層次領(lǐng)軍人才、安徽省留學(xué)人才。團(tuán)隊已經(jīng)研發(fā)了四款主要核心產(chǎn)品，尤其在長壽命大尺寸等離子體清洗設(shè)備研制方面，率先實現(xiàn)了國內(nèi)技術(shù)突破，打破了國外完全壟斷的格局，其中旋噴式大尺寸等離子體機(jī)是團(tuán)隊獨有技術(shù)，處于國際領(lǐng)先水平，研發(fā)設(shè)備可應(yīng)用于高端制造產(chǎn)業(yè)，面向長鑫存儲的半導(dǎo)體晶圓、國軒高科和寧德時代的鋰電池、京東方的顯示屏等產(chǎn)品的清洗。 【展開】 【收起】